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复杂产品研发技术风险管理研究与应用

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图5 产品技术风险管理

(2)过程技术风险管理

光刻设备研发项目实施了标准的研发流程，并将研发流程固化在reamcenter Project软件中．任何子系统研发流程基本类似，都有需求设计(定义)、概念设计(初步设计)、详细设计(技术设计)、工艺设计和制造与验收诸阶段组成．

在研发过程的每个阶段的重要活动，或阶段与阶段之间的交接活动(即里程碑)必须进行产品的技术风险管理．当各系统、子系统、零部件的设计由一个阶段进入另一阶段时，风险管理小组对设计阶段的风险进行识别与评估，以决定研发是否进入下一阶段或重新回到前面的某一活动．表1为概念设计阶段结束后的工作台掩模台系统技术风险分析．

表1 工作台掩模台系统技术风险分析

通过应用上述技术风险管理方法，不仅验证了本文提出复杂产品研发技术风险管理的有效性，也对保证光刻机设备研发的成功具有重要的实用价值．

5结语

针对研发目标产品和研发过程的复杂性，提出了技术风险二维模型和技术风险管理体系结构，可应用于大型复杂产品的研发技术风险管理中．基于本文提出的技术风险管理体系结构，可进一步进行产品技术风险和过程技术风险的定量分析和风险控制。

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